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特種氣體的運輸

算出運輸量

氣體混裝的合算

  從容器輸運的安全來說，1好盡量避免與其它氣體混裝。在不得已混裝時，按照下列方法進行合算。

(1)混裝壓縮氣體狀態(tài)的可燃、有毒氣體時；

  可燃氣體量(米3 )／300+有毒氣體量(米3 )／1O0

(2)混裝壓縮氣體狀態(tài)的可燃氣和液化氣體狀態(tài)的有毒氣時：

  可燃氣體量(米3 )／300+有毒氣體量(公斤)／1000

特種氣體系統(tǒng)：

管道系統(tǒng)的設(shè)計

材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，特種氣體供應(yīng)報價，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 .

輔助系統(tǒng)的設(shè)計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，蘭州特種氣體，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設(shè)計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。

特種氣體存放

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱，而后再進入制程機臺的使用點，于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機，哪里有特種氣體廠，以質(zhì)流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計范疇，而是歸屬制程機臺設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進行供應(yīng)。

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